- ion-beam micromachining
- микрообработка ионным лучом
Англо-русский технический словарь.
ion-beam micromachining
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Electron beam lithography — (often abbreviated as e beam lithography) is the practice of scanning a beam of electrons in a patterned fashion across a surface covered with a film (called the resist),cite book |last= McCord |first=M. A. |coauthors=M. J. Rooks |title=… … Wikipedia
Microelectromechanical systems — (MEMS) (also written as micro electro mechanical, MicroElectroMechanical or microelectronic and microelectromechanical systems) is the technology of very small mechanical devices driven by electricity; it merges at the nano scale into… … Wikipedia
Lithographie a faisceau d'electrons — Lithographie à faisceau d électrons L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la… … Wikipédia en Français
Lithographie À Faisceau D'électrons — L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la photolithographie, l avantage de… … Wikipédia en Français
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Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems — (MOEMS) is not a special class of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) but in fact it is MEMS merged with Micro optics which involves sensing or manipulating optical signals on a very small size scale using integrated mechanical, optical, and… … Wikipedia
Polaritonics — is an intermediate regime between photonics and sub microwave electronics (see Fig. 1). In this regime, signals are carried by an admixture of electromagnetic and lattice vibrational waves known as phonon polaritons, rather than currents or… … Wikipedia
